Koplanarität
Bumps bestehen meist aus hoch-reflektierenden Materialien und sind für optische Systeme schwierig zu messen. Vor allem glänzende Kanten können ein Problem für die traditionelle 3D-Messung darstellen und es kann nur eine kleine Fläche in der Mitte der Bumps erkannt werden.
- Sensor Technologie ermöglicht exakte Darstellung der Bumpgeometrie
- Präzise Messungen von Koplanarität, Höhe, Volumen, Durchmesser und Position einzelner Bumps





