CT 100

• Schnelles und genaues 3D Scanning System
• 3D Messfenster mit bis zu 10.000 x 10.000 Datenpunkten
• Benutzerfreundliches Konzept
• Umfangreiche Analysesoftware und einfache Automatisierung

Das CT 100 ist ein berührungslos arbeitendes, kompaktes Oberflächenmessgerät. Die Hauptkomponenten sind ein Laser- oder Weißlichtsensor sowie eine x-, y-Verfahreinheit auf einer Granitplattform. Speziell die nach dem chromatischen Prinzip arbeitenden Weißlichtsensoren verbinden hohe Messgenauigkeit mit hoher Abtastgeschwindigkeit. Die Sensoren sind mit einer Auflösung bis zu 3 nm und einem Messbereich bis zu 25 mm erhältlich. Das System kann eine Fläche von 100 mm x 100 mm abscannen. Die cyberTECHNOLOGIES Software bietet umfangreiche Oberflächen- und Rauheitsanalyse sowie einfach zu erstellende automatische Messabläufe.

Technologie

• Hochgenaue und dynamische Linearantriebe
• Messgeschwindigkeit: 2 kHz (4 kHz und 14 kHz optional)
• 100 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, laterale Auflösung 0,05 µm
• 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topographieanalysen
• Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 100 mm
• Konfokale Laser- und Weißlichtsensoren
• Z-Auflösung bis 3 nm, Messbereich bis zu 25 mm
• Optionale hochauflösende Kamera

Abbildungen

Fig. 1: Coplanarity measurement of BGA components
Fig. 2: Roughness measurement on solar wafer
Fig. 3: Solid Oxid Fuel Cell (SOFC)