CT 300

• Großer Scanbereich von 300 mm x 300 mm
• Schnelle und präzise Messungen auf großflächigen und kleinen Proben
• Benutzerfreundliches Konzept
• Umfangreiche Analysesoftware und einfache Automatisierung

Das CT 300 ist ein berührungsloses Oberflächenmessgerät mit einer 300 mm x-, y-Verfahreinheit. Es können beispielsweise bis zu 12” Wafer oder andere große Substrate oder Teile vermessen werden. Das CT 300 ist ideal für die Messung der Ebenheit mit hoher Genauigkeit über den gesamten Verfahrweg von 300 mm. Mit einem nach dem chromatischen Prinzip arbeitenden Weißlichtsenor und einer Abtastrate von 4 kHz können selbst große Teile schnell und effektiv vermessen werden. Die Sensoren sind mit einer Auflösung bis zu 3 nm und einem Messbereich bis zu 25 mm erhältlich. Unsere Multi-Sensor Technologie erlaubt es, mehrere Sensoren oder Messköpfe gleichzeitig zu montieren und einfach zwischen verschiedenen Auflösungen und Messbereichen zu wechseln.

Technologie

• Hochgenaue und dynamische Linearantriebe
• Messgeschwindigkeit: 4 kHz (14 kHz optional)
• 300 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, laterale Auflösung 0,05 µm, optionale motorisierte z-Achse
• 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topographieanalysen
• Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 300 mm
• Konfokale Laser- und Weißlichtsensoren
• Z-Auflösung bis 3 nm, Messbereich bis zu 25 mm
• Optionale hochauflösende Kamera (Off-axis) oder integrierte koaxiale Kamera.

Abbildungen

Fig. 1: Geometry measurement of LED devices
Fig. 2: Flatness measurement of a silicon wafer
Fig. 3: Warpage of electronic components