CT 350S

• Scanbereich 350 mm x 350 mm
• Großer Messbereich und hohe Auflösung in z-Richtung durch aktive z-Achse
• Benutzerfreundliches Konzept
• Umfangreiche Analysesoftware und einfache Automatisierung

Das CT 350S ist ein berührungsloses Oberflächenmessgerät mit einer 350 mm x-, y-Verfahreinheit und einer geregelten 200 mm z-Achse. Alle drei Achsen verwenden Magnetlinear-Antriebe und Luftlager-Führungen. Das System ist auf einer massiven Granitkonstruktion mit schwingungsdämpfenden Elementen aufgebaut. Mit einem Fehler kleiner als 100 nm zeichnet sich der x-, y-Tisch durch seine sehr hohe Genauigkeit aus. Während des Scanvorgangs kann die z-Achse der Form des Messobjekts folgen. Der Höhenmesswert ergibt sich dann aus der kalibrierten Encoderposition der z-Achse und dem Messwert des Sensors. Damit erreicht das System eine sehr hohe Auflösung in einem sehr großen Messbereich. Das CT 350S wurde für die Vermessung von präzisen, optischen Bauteilen konzipiert. Konturmessungen, Stufenhöhe, Rauheitsmessungen und andere gängige 2D und 3D Messungen sind weitere Anwendungen. Die Sensoren sind mit einer Auflösung von bis zu 3 nm erhältlich.

Technologie

• Hochgenaue und dynamische Linearantriebe mit Luftlagern
• 4 kHz Messgeschwindigkeit
• 350 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, motorisierte 200 mm z-Achse, Glasmaßstäbe mit 1 nm Auflösung
• 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topographieanalysen
• Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 350 mm
• Chromatisch konfokale Weißlichtsensoren mit bis zu 3 nm Auflösung
• Hochauflösende Farbkamera

Abbildungen

Fig. 1: Surface measurement of an asphere
Fig. 2: Flatness measurement of a hard disk component
Fig. 3: Topography measurement of LED devices