CT 600S

• Großer Scanbereich von 600 mm x 600 mm
• Hochgenaue Messungen auf großflächigen schweren Proben
• Benutzerfreundliches Konzept
• Umfangreiche Analysesoftware und einfache Automatisierung

Das CT 600S ist ein berührungsloses Oberflächenmessgerät mit einer 600 mm x-, y-Verfahreinheit. Das Gantry Design mit Luftlagern bewegt die Sensor/Kamera-Einheit, während das Messobjekt auf der Granitplattform abgelegt wird. Das ermöglicht hochgenaue Messungen an großen und schweren Teilen. Das CT 600S ist ideal für Ebenheitsmessungen von großen Flächen, aber auch für Messungen von Stufenhöhen, Rauheiten und anderen 2D- und 3D-Messparametern. Kreis- und ellipsenförmige Scans ermöglichen schnelle Messungen von runden Teilen. Die Sensoren sind an einer automatischen z-Achse montiert und sind mit einer Auflösung von bis zu 3 nm einem Messbereich von bis zu 25 mm erhältlich.

Technologie

• Hochgenaue und dynamische Linearantriebe mit Luftlagern
• Messgeschwindigkeit: 4 kHz (14 kHz optional)
• 600 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, laterale Auflösung 0,05 µm, motorisierte z-Achse
• 2D Profile Messungen sowie 3D Kontur und Topografieanalysen
• Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 600 mm
• Chromatische konfokale Weißlichtsensoren
• Z-Auflösung bis zu 3 nm, Messbereich bis zu 25 mm
• Hochauflösende Farbkamera

Abbildungen

Fig. 1: Topogorafie einer Verdichter Komponente 
Fig. 2: Ebenheitsmessung auf einem Siliziumwafer
Fig. 3: Ebenheit einer Gleitdichtung