Interferometer
Polychromatisches Licht wird auf eine transparente Oberfläche projiziert. An jeder Grenzfläche wird ein Teil des auftreffenden Lichts reflektiert. Es tritt eine Phasenverschiebung auf, die mit der Wellenlänge variiert. Bei bestimmten Wellenlängen tritt konstruktive, bei anderen Wellenlängen destruktive Interferenz auf. Wird die Intensität des Interferenzsignals über die Wellenzahl aufgetragen, kann daraus die optische Weglänge bestimmt werden. Aus der optischen Weglänge und dem Brechungsindex errechnet sich die Schichtdicke.
| Modell | Auflösung | Messbereich | Messabstand | Größe Lichtfleck |
| CHR-250-10 | 0.01 µm 0.0004 mils |
2-250 µm 0.08- 9.8 mils |
9.5 mm 0.37 inch |
10 µm 0.39 mils |
| CHR-250-40 | 0.01 µm 0.0004 mils |
2-250 µm 0.08- 9.8 mils |
27 mm 1.06 mils |
40 µm 1.57 mils |
| CHR-250-50 | 0.01 µm 0.0004 mils |
2-250 µm 0.08- 9.8 mils |
101 mm 3.97 inch |
50 µm 1.97 mils |
| IT | 0.2 µm 0.008 mils |
40-3500 µm 1.57- 137.8 mils |
23.5 mm 0.93 inch |
13 µm 0.51 mils |
Interferometer