VANTAGE 50

• Berührungsloses Profilometer und 3D Scanning Lösung
• Integrierte Achse mit 50 mm Verfahrweg
• Benutzerfreundliches Konzept
• Umfangreiche Analysesoftware und einfache Automatisierung

Das cyberSCAN VANTAGE 50 ist ein kompaktes Profilometer um Oberflächen berührungslos zu vermessen. Das System besteht aus einem Lasersensor, einem integrierten Vorschub sowie einem PC oder Laptop für die Datenanalyse. Der Sensor wird über die Oberfläche bewegt und erzeugt ein hochauflösendes Höhenprofil. Der konfokale Lasersensor kann zudem eine 1,1 mm breite Line erzeugen. Mit einer lateralen Auflösung von 2 µm lassen sich somit hochgenaue 3D Daten aufnehmen und analysieren. Die cyberTECHNOLOGIES Software bietet umfangreiche Oberflächen- und Rauheitsanalysen sowie einfach zu erstellende automatische Messabläufe.

Technologie

• Integrierte y-Achse mit Sensoraufnahme
• 50 mm Verfahrweg in y-Richtung, laterale Auflösung 0,05 µm
• Konfokale Laser- und Triangulationssensoren
• Z-Auflösung bis 10 nm, Messbereich bis zu 8 mm
• 3D Linescan mit 1,1 mm Breite und 2 µm lateraler Auflösung (mit konfokalem Lasersensor)
• 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topographieanalysen
• Integrierte koaxiale Kameras mit sichtbaren Messpunkt im Kamerafenster

Abbildungen

Fig. 1: Depth of laser scribing
Fig. 2: 3D metallization measurement on solar cells
Fig. 3: Thick-film height on hybrid circuits