VANTAGE

• Großer Scanbereich von 200 mm x 200 mm
• Kompaktes, integriertes Design
• Benutzerfreundliches Konzept
• Umfangreiche Analysesoftware und einfache Automatisierung

Das cyberSCAN VANTAGE ist ein berührungsloses, laserbasierendes Oberflächenmessgerät von cyberTECHNOLOGIES. Die Kombination aus hochauflösender Sensortechnik und präziser x-, y-Verfahreinheit ermöglicht es, Oberflächen im sub-µm Bereich zu scannen. Alle elektronischen Komponenten sind im stabilen Gussgehäuse integriert. Die cyberTECHNOLOGIES Software bietet umfangreiche Oberflächen- und Rauheitsanalyse sowie einfach zu erstellende automatische Messabläufe.

Technologie

• Präziser Linearantrieb mit Piezo Keramik Motoren
• 200 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, laterale Auflösung 0,1 µm
• 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topografieanalysen
• Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 200 mm
• Konfokale Laser- und Triangulationssensoren
• Z-Auflösung bis 10 nm, Messbereich bis zu 8 mm
• Integrierte koaxiale Kameras mit sichtbarem Messpunkt im Kamerafenster

Abbildungen

Fig. 1: Messung der Koplanarität eines BGA Bauteils 
Fig. 2: 3D Messung der Metallisierung auf einer Solarzelle 
Fig. 3: Schichtdickenmessung auf Hybridschaltungen