Zwei Sensoren in einem

Konfokal Mikroskop (KFM) und Weißlicht-Interferometer (WLI)

KFM_cyberTECHNOLOGIEScyberTECHNOLOGIES ergänzt die Familie der Flächensensoren. Ein neuer Sensor kombiniert  die Technologie eines 3D Weißlicht-Interferometers und eines 3D Konfokal Mikroskopes. Ein Objektiv-Revolver wird mit Objektiven für das Interferometer und für das konfokale Mikroskop bestückt. Der Anwender kann somit die maximale Höhenauflösung der WLI -Technologie bis zu 0,1 nm nutzen. Ist die Oberflächeneigenschaften des Messobjekts nicht für die Verwendung des Weißlicht-Interferometers geeignet, wird ein Mikroskop-Objektiv ausgewählt und der Bediener wechselt in den KFM Modus. Der neue Sensor ist komplett in die bekannte Scan CT Softwareplattform inkl. AScan integriert.

– Kombiniert zwei Technologien in einem Sensor
– Maximale z-Auflösung im Weißlicht-Interferometer Modus bis zu 0,1 nm
– 3D konfokale Mikroskopie für raue und strukturierte Oberflächen,
– Z-Achse mit 50 mm, 100 mm oder 200 mm Scanweg
– Objektiv-Revolver mit KFM und WLI Objektiven
– Verfügbar auf dem CT200 und CT300 Plattform