Ebenheits-
messung

Messungen der Ebenheit von elektronischen,
mechanischen und optischen Bauteilen.

Ebenheitsmessungen sind für eine Vielzahl von Komponenten wie Wafer, optische und mechanische Teile erforderlich. Präzise Ebenheitsmessungen über einen großen Messbereich sind mit den berührungslosen 3D Messsystemen von cyberTECHNOLOGIES möglich.

ELEKTRONISCHES BAUTEIL

Kontur eines elktronischen Bauteils

  • Algorithmen zur Kantenentfernung und Modifizierung
  • Markierung des Messbereiches durch polygonale Messcursor

FESTPLATTENBAUTEIL

Kontur eines Festplattenbauteils

  • Effektive Filtermethoden zur Trennung von Rauheit und Ebenheit
  • Ebenheitsmessung relativ zu einer Referenzfläche

SILIZIUM WAFER

Oberfläche eines Silizium Wafers

  • Genaue Ebenheitsmessung auf großen Flächen
  • Falschfarbendarstellung mit Fehlererkennung

Chip-Verkippung (DIE-Tilt)

3D-Darstellung der Verkippung eines Chips

  • Messung von DIE-Tilt, BLT-Höhe und Chip-Position
  • Verdrehung und Versatz relativ zur Referenzposition

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