Ebenheits-
messung
Messungen der Ebenheit von elektronischen,
mechanischen und optischen Bauteilen.
Ebenheitsmessungen sind für eine Vielzahl von Komponenten wie Wafer, optische und mechanische Teile erforderlich. Präzise Ebenheitsmessungen über einen großen Messbereich sind mit den berührungslosen 3D Messsystemen von cyberTECHNOLOGIES möglich.
ELEKTRONISCHES BAUTEIL
Kontur eines elktronischen Bauteils
- Algorithmen zur Kantenentfernung und Modifizierung
- Markierung des Messbereiches durch polygonale Messcursor
FESTPLATTENBAUTEIL
Kontur eines Festplattenbauteils
- Effektive Filtermethoden zur Trennung von Rauheit und Ebenheit
- Ebenheitsmessung relativ zu einer Referenzfläche
SILIZIUM WAFER
Oberfläche eines Silizium Wafers
- Genaue Ebenheitsmessung auf großen Flächen
- Falschfarbendarstellung mit Fehlererkennung
Chip-Verkippung (DIE-Tilt)
3D-Darstellung der Verkippung eines Chips
- Messung von DIE-Tilt, BLT-Höhe und Chip-Position
- Verdrehung und Versatz relativ zur Referenzposition
Fragen?
Wir helfen Ihnen das richtige Messsystem für Ihre Anwendungen zu finden.