Schichtdicke

Messung der Dicke und Schichtdicke
verschiedenster Materialien und Substrate

Die Überprüfung der Schichtdicke verschiedener gedruckter Materialien auf Substraten ist notwendig, da elektrische Parameter in direktem Zusammenhang mit der Schichtdicke stehen. cyberTECHNOLOGIES hochauflösende, berührungslose 3D Messsysteme sind auch geeignet für die Vermessung von nassen Schichten.

Hybridschaltung

Oberfläche eines Dickschicht Widerstandes

  • Messung von verschiedenen Schichten wie beispielsweise Widerstands-, Silber-, Gold-, oder Glas-Druck
  • Ansicht von Oberflächen- und Konturgrafiken

Höhenprofil eines Dickschicht Widerstandes

  • Alle Sensoren können unterschiedliche Oberflächen mit unterschiedlichen Reflektionsverhalten verarbeiten
  • Durch mehrere Referenzcursor wird Verkippung und Krümmung kompensiert

SOLARZELLE

Oberflächenbild der Metallisierungsschicht

  • Genaue 3D Daten sind erforderlich, um den Druckprozess einzurichten und zu optimieren
  • Es können Abweichungen im Druckprozess innerhalb einer Solarzelle und von Zelle zu Zelle isoliert werden

Höhenprofil Metallisierungsschicht

  • Ein spezieller „blauer Laser“ kann auf texturierten und beschichteten Solarzellen messen
  • Messung der maximalen Höhe, Durchschnittshöhe sowie der Breite von Buslinien

KLEBERDRUCK

Profil eines Kleberpunktes

  • 3D Volumen-, Höhe- und Flächenmessungen
  • Automatische Messung der maximalen Höhe und Position von Kleberdepots

Profil eines Kleberpunktes

  • Messung von transparenten und durchsichtigen Materialien (Kleber, Lötstopp-Lack, Flux etc.)
  • Mehrere Ergebnisse können mit den gleiche Einstellung abgerufen werden (Höhe, Fläche, Winkel, etc)

Keramikvielschicht-Chipkondensator (MLCC)

Oberfläche eines MLCC Druckes

  • Laterale Auflösung bis zu 1 µm
  • Hochgenaue x/y Messungen basierend auf 3D Daten

Höhenprofil von gedruckten Depots auf einem MLCC-Tape

  • Hochgenaue Schichtdickenmessung im sub-µm Bereich
  • Effektive Filtermethoden zur Trennung von Rauheit und Oberflächeneigenschaften

BRENNSTOFFZELLE

Oberfläche eines großen Druckdepots auf einem Brennstoffzellenteil

  • Große Scanflächen über den gesamten Verfahrbereich des Messsystems
  • Kompensation von Durchbiegung, Verkippung und Verwölbung

Profile eines großen Druckdepots auf einem Brennstoffzellenteil

  • Es werden mehrere Arbeitsblätter innerhalb einer Scandatei unterstützt
  • Profile von verschiedenen Positionen können überlagert dargestellt werden

DRAM KLEBERDRUCK

Oberfläche von gedruckten Kleberdepots auf einem DRAM Substrat

  • Optimierung der Scangeschwindigkeit durch variable Schrittweiten
  • Die Zoom Funktion ermöglicht, bestimmte Bereiche aus einem groben Raster mit hoher Auflösung erneut zu scannen

Höhenprofil von gedruckten Kleberdepots auf einem DRAM Substrat

  • Mit mehreren Mess- und Referenzcursorn können alle Depots innerhalb eines Scans vermessen werden
  • Spezielle Analysen für gedruckte Eigenschaften: Plateauhöhe, Plateaurauheit, „Dogear“ etc.

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