Key features
Kompakt
Das CT 100 ist kompaktes, flexibles und berührungslos arbeitendes Profilometer. Das Messsystem kann eine maximale Fläche von 150 mm x 150 mm scannen.
Software für hohe Ansprüche
Die Systemsoftware SCAN SUITE verbindet SCAN CT für individuelle Messungen und Datenanalyse mit der Automationssoftware ASCAN. Systemkontrolle, Datenerfassung und Analyse sind in einer gemeinsamen benutzerfreundlichen Oberfläche integriert.
High-speed
Schnelles und hochauflösendes 3D Messystem. Das CT 100 scannt mit einer maximalen Geschwindigkeit von 150 mm/s.
Benutzerfreundlich
Die exakt aufeinander abgestimmte Soft- und Hardware ermöglicht es schnell und einfach zu präzisen und wiederholbaren Messergebnissen zu gelangen.
Übersicht
Das CT 100 ist ein berührungslos arbeitendes, kompaktes Oberflächenmessgerät. Die Hauptkomponenten sind ein Weißlichtsensor sowie eine x-, y-Verfahreinheit auf einer Granitplattform. Speziell die nach dem chromatischen Prinzip arbeitenden Weißlichtsensoren verbinden hohe Messgenauigkeit mit hoher Abtastgeschwindigkeit.
Die Sensoren sind mit einer Auflösung bis zu 3 nm und einem Messbereich bis zu 12 mm erhältlich. Das System kann eine Fläche von 150 mm x 150 mm abscannen. Die cyberTECHNOLOGIES Software bietet umfangreiche Oberflächen- und Rauheitsanalyse sowie einfach zu erstellende automatische Messabläufe.
Technologie
- Hochgenaue und dynamische Linearantriebe
- Messgeschwindigkeit: 2 kHz / 4 kHz / 20kHz
- 150 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, laterale Auflösung 0,05 µm
- 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topografieanalysen
- Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 150 mm
- Konfokale Laser- und Weißlichtsensoren
- Interferometer zur Dickenmessung
- Hochauflösende Kamera
Anwendungsbeispiele
Komplanaritätsmessung von BGA Komponenten
Rauheitsmessung auf Solar Wafern
Schicktdickenmessung an Brennstoffzelle
Fragen?
Wir helfen Ihnen gerne das richtige Messsystem für Ihre Anwendungen zu finden.