CT 100

Kompaktes und flexibles
3D-Profilometer

ÜbersichtAnwendungsbeispiele

Key features

Kompakt

Das CT 100 ist kompaktes, flexibles und berührungslos arbeitendes Profilometer. Das Messsystem kann eine maximale Fläche von 150 mm x 150 mm scannen.

Software für hohe Ansprüche

Die Systemsoftware SCAN SUITE verbindet SCAN CT für individuelle Messungen und Datenanalyse mit der Automationssoftware ASCAN. Systemkontrolle, Datenerfassung und Analyse sind in einer gemeinsamen benutzerfreundlichen Oberfläche integriert.

High-speed

Schnelles und hochauflösendes 3D Messystem. Das CT 100 scannt mit einer maximalen Geschwindigkeit von 150 mm/s.

Benutzerfreundlich

Die exakt aufeinander abgestimmte Soft- und Hardware ermöglicht es schnell und einfach zu präzisen und wiederholbaren Messergebnissen zu gelangen.

Übersicht

Das CT 100 ist ein berührungslos arbeitendes, kompaktes Oberflächenmessgerät. Die Hauptkomponenten sind ein Weißlichtsensor sowie eine x-, y-Verfahreinheit auf einer Granitplattform. Speziell die nach dem chromatischen Prinzip arbeitenden Weißlichtsensoren verbinden hohe Messgenauigkeit mit hoher Abtastgeschwindigkeit.
Die Sensoren sind mit einer Auflösung bis zu 3 nm und einem Messbereich bis zu 12 mm erhältlich. Das System kann eine Fläche von 150 mm x 150 mm abscannen. Die cyberTECHNOLOGIES Software bietet umfangreiche Oberflächen- und Rauheitsanalyse sowie einfach zu erstellende automatische Messabläufe.

Technologie

  • Hochgenaue und dynamische Linearantriebe
  • Messgeschwindigkeit: 2 kHz / 4 kHz / 20kHz
  • 150 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, laterale Auflösung 0,05 µm
  • 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topografieanalysen
  • Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 150 mm
  • Konfokale Laser- und Weißlichtsensoren
  • Inerferometer zur Dickenmessung
  • Hochauflösende Kamera

Anwendungsbeispiele

Komplanaritätsmessung von BGA Komponenten

Rauheitsmessung auf Solar Wafern

Schicktdickenmessung an Brennstoffzelle

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