CT 350T / CT 250T

Doppelseitiges, berührungsloses Messsystem
zur Messung der absoluten Dicke unabhängig vom Material

Key features

Doppelte Sensorpower

Die T-Serie ist mit zwei Sensoren ausgrüstet. Beide Sensoren erfassen die Höhendaten synchronisiert und ortsgenau mit den x- und y- Signalen und sind axial ausgerichtet um eine exakt differentielle Dickenmessungen zu gewährleisten.

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Software für hohe Ansprüche

Die Systemsoftware SCAN SUITE verbindet SCAN CT für individuelle Messungen und Datenanalyse mit der Automationssoftware ASCAN. Systemkontrolle, Datenerfassung und Analyse sind in einer gemeinsamen benutzerfreundlichen Oberfläche integriert.

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3D Mapping

Mit Hilfe der Software können 2D- Profile sowie 3D- Raster Scans von der oberen und unteren Oberfläche erstellt werden. Dicke, Bow, Warp und Rauheit werden zeitglich berechnet.

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Benutzerfreundlich

Die exakt aufeinander abgestimmte Soft- und Hardware ermöglicht es schnell und einfach zu präzisen und wiederholbaren Messergebnissen zu gelangen.

Übersicht

Das CT 350T ist ein doppelseitig berührungslos arbeitendes Profilometer mit einer 300 mm x-,y- Verfahreinheit. Der obere Sensor ist an einer hochpräzisen z-Achse mit 100 mm Verfahrweg befestigt. Der untere Sensor ist in der Granitplattform integriert.Beide Sensoren erfassen die Höhendaten synchronisiert und ortsgenau mit den x- und y- Signalen und sind axial ausgerichtet um eine exakt differentielle Dickenmessungen zu gewährleisten. Mit Hilfe der Software können 2D- Profile sowie 3D- Raster Scans von der oberen und unteren Oberfläche erstellt werden, die Dicke wird zeitglich berechnet.

In der Verfahreinheit werden schnelle und präzise Magnetlinearmotoren eingesetzt. Die Messzeiten werden durch die hohe Datenrate des chromatischen Weißlichtsensors minimiert. Die Sensoren sind mit einer Auflösung von bis zu 3 nm und einem Messbereich von bis zu 25 mm erhältlich.

Durch Einsetzten einer Adapterplatte in die Öffnung der Verfahreinheit kann das Gerät auch als ein Standardoberflächenmessgerät verwendet werden. Dadurch ist das CT 350T eines der am vielfältigsten einsetzbaren Messgeräte für Oberflächen- und Dickenmessungen. Es ist ebenfalls in einer kleineren Version, dem CT 250T mit einer 200 mm Verfahreinheit erhältlich, besonders geeignet für die Vermessung von 8“ Wafern und Solarzellen.

Download Datasheet

Technologie

Schnelle und hochpräzise doppelseitige Messungen
Messgeschwindigkeit: 2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
300 mm (200 mm) Verfahrweg in x-,y-Richtung, laterale Auflösung 50 nm, motorisierte z-Achsen-Auflösung 5 nm
2D Profile und 3D Oberflächen sowie 3D Dickenmessung
Große Scanfläche
Maximale Auflösung in x-, y- und z über den gesamten Verfahrweg von 300 mm (200 mm)
Maximale Dicke der Probe 80 mm
Chromatische Weißlichtsensoren
Hochauflösende Off-axis Kamera