CT 600S
Messen von schweren und großen Bauteilen
mit sehr hoher Genauigkeit
Hohe Genauigkeit
Sophisticated software
Großer Scanbereich
User friendly concept
Übersicht
Das CT 600S ist ein berührungsloses Oberflächenmessgerät mit einer 600 mm x-, y-Verfahreinheit. Das Gantry Design mit Luftlagern bewegt die Sensor/Kamera-Einheit, während das Messobjekt auf der Granitplattform abgelegt wird. Das ermöglicht hochgenaue Messungen an großen und schweren Teilen.
Das CT 600S ist ideal für Ebenheitsmessungen von großen Flächen, aber auch für Messungen von Stufenhöhen, Rauheiten und anderen 2D- und 3D-Messparametern. Kreis- und ellipsenförmige Scans ermöglichen schnelle Messungen von runden Teilen.
Die Sensoren sind an einer automatischen z-Achse montiert und sind mit einer Auflösung von bis zu 3 nm einem Messbereich von bis zu 12 mm erhältlich.

- Hochgenaue und dynamische Linearantriebe mit Luftlagern
- Messgeschwindigkeit: 4 kHz / 20 kHz
- 600 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, laterale Auflösung 0,05 µm, motorisierte z-Achse
- 2D Profile Messungen sowie 3D Kontur und Topografieanalysen
- Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 600 mm
- Chromatische konfokale Weißlichtsensoren
- Z-Auflösung bis zu 3 nm, Messbereich bis zu 12 mm
- Hochauflösende Farbkamera
Anwendungsbeispiele

Topogorafie einer Verdichter Komponente

Ebenheitsmessung auf einem Siliziumwafer

Ebenheit einer Gleitdichtung
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