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Sensoren

Die VANTAGE- und CT-Reihe kann mit
unterschiedlichen Sensoren ausgestatten werden.

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Konfokaler Weißlicht Sensor

Der konfokale Weißlichtsensor verwendet einen Lichtpunkt und ein Spektrometer. Licht verschiedener Wellenlängen wird auf unterschiedliche Ebenen projiziert. Das Spektrometer erkennt welche Wellenlänge mit welcher Intensität reflektiert wird. Ein Messwert wird erzeugt, wenn die Lichtintensität einer bestimmten Wellenlänge auf dem Detektor ein Maximum erreicht.
available Models

MODEL
RESOLUTION
MEASUREMENT RANGE
WORKING DISTANCE
SPOT SIZE
P-CHR-100 0.003 µm

0.12 µinch

 100 µm

3.9 mils

 1.9 mm

0.07 inch

 3.5 µm

0.14 mils
P-CHR-300 0.01 µm

0.39 µinch

 300 µm

11.8 mils

 4.5 mm

0.18 inch

 5 µm

0.2 mils
P-CHR-350 0.012 µm

0.47 µinch

 350 µm

13.8 mils

 8 mm

0.31 inch

 5 µm

0.2 mils
P-CHR-400 0.014 µm

0.55 µinch

 400 µm

15.7 mils

 15.3 mm

0.60 inch

 4 µm

0.16 mils
P-CHR-600 0.02 µm

0.79 µinch

 600 µm

23.6 mils

 6.5 mm

0.26 inch

 4 µm

0.16 mils
P-CHR-1000 0.035 µm

1.38 µinch

 1000 µm

39.4 mils

 20.8 mm

0.82 inch

 3.5 µm

0.14 mils
P-CHR-2000 0.07 µm

2.76 µinch

 2000 µm

78.7 mils

 61 mm

2.40 inch

 12.5 µm

0.50 mils
P-CHR-2000 0.07 µm

2.76 µinch

 2000 µm

78.8 mils

 13.5 mm

0.35 inch

 12 µm

0.47 mils
P-CHR-3000 0.10 µm

3.94 µinch

 3000 µm

118 mils

 22.5 mm

0.89 inch

 12 µm

0.47 mils
P-CHR-6000 0.20 µm

7.87 µinch

 6000 µm

236 mils

 36 mm

1.42 inch

 16 µm

0.63 mils
P-CHR-8000 0.28 µm

11.02 µinch

 8000 µm

315 mils

 36.3 mm

1.43 inch

 30 µm

1.18 mils
P-CHR-10000 0.30 µm

11.80 µinch

 10 mm

0.39 inch

 70 mm

2.76 inch

 24 µm

0.94 mils
P-CHR-12000 0.40 µm

15.75 µinch

 12 mm

0.47 inch

 54 mm

2.12 inch

 30 µm

1.18 mils
P-CHR-15000 0.50 µm

19.69 µinch

 15 mm

0.59 inch

 57 mm

2.24 inch

 20 µm

0.79 mils
P-CHR-25000 0.80 µm

31.50 µinch

 25 mm

0.98 inch

 80 mm

3.15 inch

 25 µm

0.98 mils

Interferometer

Polychromatisches Licht wird auf eine transparente Oberfläche projiziert. An jeder Grenzfläche wird ein Teil des auftreffenden Lichts reflektiert. Es tritt eine Phasenverschiebung auf, die mit der Wellenlänge variiert. Bei bestimmten Wellenlängen tritt konstruktive, bei anderen Wellenlängen destruktive Interferenz auf. Wird die Intensität des Interferenzsignals über die Wellenzahl aufgetragen, kann daraus die optische Weglänge bestimmt werden. Aus der optischen Weglänge und dem Brechungsindex errechnet sich die Schichtdicke.
available Models
MODEL RESOLUTION MEASUREMENT RANGE WORKING DISTANCE SPOT SIZE
INT-180 (WL) 0.01 µm

0.39 µinch

 3 µm – 180 µm

0.12 mils – 7.09 mils

 9.5 mm

0.37 inch

 10 µm

0.4 mils
IT-500 (IR) 0.14 µm

5.51 µinch

 37 µm – 4700 µm

1.46 mils – 185.0 mils

 39.7 mm

1.56 inch

 13 µm

0.5 mils
IT-500 RW (IR) 0.17 µm

6.69 µinch

 45 µm – 5600 µm

1.77 mils – 220.5 mils

 39.7 mm

1.56 inch

 13 µm

0.5 mils
IT-1000 (IR) 0.25 µm

9.84 µinch

 64 µm – 8200 µm

2.52 mils – 322.8 mils

 39.7 mm

1.56 inch

 13 µm

0.5 mils
IT-1000 RW (IR) 0.22 µm

8.66 µinch

 57 µm – 7300 µm

2.24 mils – 287.4 mils

 39.7 mm

1.56 inch

 13 µm

0.5 mils
IT 18-3000 (IR) 0.09 µm

3.54 µinch

 18 µm – 3000 µm

0.71 mils – 118.1 mils

 39.7 mm

1.56 inch

 13 µm

0.5 mils
IT 150-15000 0.45 µm

17.72 µinch

 150 µm – 15000 µm

5.91 mils – 590.6 mils

 39.7 mm

1.56 inch

 13 µm

0.5 mils
IT TW (IR) 0.01 µm

0.39 µinch

 4 µm – 300 µm

0.16 mils – 11.81 mils

 39.7 mm

1.56 inch

 13 µm

0.5 mils
IT DW (IR) 0.06 µm

2.36 µinch

 15 µm – 2000 µm

0.59 mils – 78.74 mils

 39.7 mm

1.56 inch

 13 µm

0.5 mils

3D White Light Interferometer

Das reflektierte Licht von der Oberfläche wird über einen Strahlteiler in zwei Wege aufgeteilt. Ein Strahl reflektiert an einem Referenzspiegel und der andere an der zu messenden Oberfläche. Beide Strahlen überlagern sich, das entstehende Interferenzbild wird von einer Kamera erfasst. Das Objektiv bewegt sich in kleinen Schritte in z-Richtung. An jeder Position wird ein Bild aufgenommen, durch die Kombination aller Bilder erhält man ein 3D Topographie Bild.
available Models
The 3D white light interferometers are available with 3 measurement ranges: 100 µm, 250µm and 400µm.

OBJECTIVE Z-RESOLUTION XY RESOLUTION FIELD OF VIEW WORKING DISTANCE
2.5X 1 nm

0.039 µinch

 9.24 µm

0.36 mils

 7.12 mm x 5.34 mm

0.28 inch x 0.21 inch

 10.3 mm

0.41 inch
5X 1 nm

0.039 µinch

 4.62 µm

0.18 mils

 3.56 mm x 2.67 mm

0.14 inch x 0.11 inch

 9.3 mm

0.37 inch
10X 1 nm

0.039 µinch

 2.31 µm

0.09 mils

 1.78 mm x 1.34 mm

0.07 inch x 0.05 inch

 7.4 mm

0.29 inch
20X 0.1 nm

0.0039 µinch

 1.16 µm

0.05 mils

 0.89 mm x 0.66 mm

0.04 inch x 0.03 inch

 4.7 mm

0.18 inch
50X 0.1 nm

0.0039 µinch

 0.46 µm

18.1 µinch

 0.36 mm x 0.27 mm

14.1 mils x 10.6 mils

 3.4 mm

0.13 inch
100X 0.1 nm

0.0039 µinch

 0.23 µm

9.06 µinch

 0.18 mm x 0.13 mm

7.09 mils x 5.27 mils

 2.0 mm

0.08 inch

3D Confocal Microscope

Licht wird durch eine rotierende Lochscheibe und das Objektiv auf die Probenoberfläche projiziert . Die Öffnungen auf der Scheibe (Pinholes) lassen nur Licht von Punkten durch, die fokussiert sind. Nur diese Punkte werden von der CCD Kamera aufgenommen. Die Linse wird durch einen Piezoantrieb in z-Richtung bewegt. Jedes konfokale Bild ist Schnitt durch die Topographie der Probenoberfläche.
available Models
OBJECTIVE Z-RESOLUTION XY RESOLUTION FIELD OF VIEW WORKING DISTANCE
20X 3 nm

0.12 µinch

 1.16µm

45.7 µinch

 0.89 mm x 0.66 mm

0.04 inch x 0.03 inch

 1.0 mm

0.04 inch
50X 2 nm

0.08 µinch

 0.46 µm

18.1 µinch

 0.36 mm x 0.27 mm

14.2 mils x 10.6 mils

 1.0 mm

0.04 inch
100X 1 nm

0.039 µinch

 0.23 µm

9.06 µinch

 0.18 mm x 0.13 mm

7.09 mils x 5.12 mils

 1.0 mm

0.04 inch

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