Sensoren

Die VANTAGE- und CT-Reihe kann mit
unterschiedlichen Sensoren ausgestatten werden.

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Konfokaler Weißlicht Sensor

Der konfokale Weißlichtsensor verwendet einen Lichtpunkt und ein Spektrometer. Licht verschiedener Wellenlängen wird auf unterschiedliche Ebenen projiziert. Das Spektrometer erkennt welche Wellenlänge mit welcher Intensität reflektiert wird. Ein Messwert wird erzeugt, wenn die Lichtintensität einer bestimmten Wellenlänge auf dem Detektor ein Maximum erreicht.
available Models

MODEL

RESOLUTION

MEASUREMENT RANGE

WORKING DISTANCE

SPOT SIZE
P-CHR-100 0.003 µm

0.12 µinch

100 µm

3.9 mils

1.9 mm

0.07 inch

3.5 µm

0.14 mils

P-CHR-300 0.01 µm

0.39 µinch

300 µm

11.8 mils

4.5 mm

0.18 inch

5 µm

0.2 mils

P-CHR-350 0.012 µm

0.47 µinch

350 µm

13.8 mils

8 mm

0.31 inch

5 µm

0.2 mils

P-CHR-400 0.014 µm

0.55 µinch

400 µm

15.7 mils

15.3 mm

0.60 inch

4 µm

0.16 mils

P-CHR-600 0.02 µm

0.79 µinch

600 µm

23.6 mils

6.5 mm

0.26 inch

4 µm

0.16 mils

P-CHR-1000 0.035 µm

1.38 µinch

1000 µm

39.4 mils

20.8 mm

0.82 inch

3.5 µm

0.14 mils

P-CHR-2000 0.07 µm

2.76 µinch

2000 µm

78.7 mils

61 mm

2.40 inch

12.5 µm

0.50 mils

P-CHR-2000 0.07 µm

2.76 µinch

2000 µm

78.8 mils

13.5 mm

0.35 inch

12 µm

0.47 mils

P-CHR-3000 0.10 µm

3.94 µinch

3000 µm

118 mils

22.5 mm

0.89 inch

12 µm

0.47 mils

P-CHR-6000 0.20 µm

7.87 µinch

6000 µm

236 mils

36 mm

1.42 inch

16 µm

0.63 mils

P-CHR-8000 0.28 µm

11.02 µinch

8000 µm

315 mils

36.3 mm

1.43 inch

30 µm

1.18 mils

P-CHR-10000 0.30 µm

11.80 µinch

10 mm

0.39 inch

70 mm

2.76 inch

24 µm

0.94 mils

P-CHR-12000 0.40 µm

15.75 µinch

12 mm

0.47 inch

54 mm

2.12 inch

30 µm

1.18 mils

P-CHR-15000 0.50 µm

19.69 µinch

15 mm

0.59 inch

57 mm

2.24 inch

20 µm

0.79 mils

P-CHR-25000 0.80 µm

31.50 µinch

25 mm

0.98 inch

80 mm

3.15 inch

25 µm

0.98 mils

Interferometer

Polychromatisches Licht wird auf eine transparente Oberfläche projiziert. An jeder Grenzfläche wird ein Teil des auftreffenden Lichts reflektiert. Es tritt eine Phasenverschiebung auf, die mit der Wellenlänge variiert. Bei bestimmten Wellenlängen tritt konstruktive, bei anderen Wellenlängen destruktive Interferenz auf. Wird die Intensität des Interferenzsignals über die Wellenzahl aufgetragen, kann daraus die optische Weglänge bestimmt werden. Aus der optischen Weglänge und dem Brechungsindex errechnet sich die Schichtdicke.

available Models
MODEL RESOLUTION MEASUREMENT RANGE WORKING DISTANCE SPOT SIZE
INT-180 (WL) 0.01 µm

0.39 µinch

3 µm – 180 µm

0.12 mils – 7.09 mils

9.5 mm

0.37 inch

10 µm

0.4 mils

IT-500 (IR) 0.14 µm

5.51 µinch

37 µm – 4700 µm

1.46 mils – 185.0 mils

39.7 mm

1.56 inch

13 µm

0.5 mils

IT-500 RW (IR) 0.17 µm

6.69 µinch

45 µm – 5600 µm

1.77 mils – 220.5 mils

39.7 mm

1.56 inch

13 µm

0.5 mils

IT-1000 (IR) 0.25 µm

9.84 µinch

64 µm – 8200 µm

2.52 mils – 322.8 mils

39.7 mm

1.56 inch

13 µm

0.5 mils

IT-1000 RW (IR) 0.22 µm

8.66 µinch

57 µm – 7300 µm

2.24 mils – 287.4 mils

39.7 mm

1.56 inch

13 µm

0.5 mils

IT 18-3000 (IR) 0.09 µm

3.54 µinch

18 µm – 3000 µm

0.71 mils – 118.1 mils

39.7 mm

1.56 inch

13 µm

0.5 mils

IT 150-15000 0.45 µm

17.72 µinch

150 µm – 15000 µm

5.91 mils – 590.6 mils

39.7 mm

1.56 inch

13 µm

0.5 mils

IT TW (IR) 0.01 µm

0.39 µinch

4 µm – 300 µm

0.16 mils – 11.81 mils

39.7 mm

1.56 inch

13 µm

0.5 mils

IT DW (IR) 0.06 µm

2.36 µinch

15 µm – 2000 µm

0.59 mils – 78.74 mils

39.7 mm

1.56 inch

13 µm

0.5 mils

3D White Light Interferometer

Das reflektierte Licht von der Oberfläche wird über einen Strahlteiler in zwei Wege aufgeteilt. Ein Strahl reflektiert an einem Referenzspiegel und der andere an der zu messenden Oberfläche. Beide Strahlen überlagern sich, das entstehende Interferenzbild wird von einer Kamera erfasst. Das Objektiv bewegt sich in kleinen Schritte in z-Richtung. An jeder Position wird ein Bild aufgenommen, durch die Kombination aller Bilder erhält man ein 3D Topographie Bild.

available Models

The 3D white light interferometers are available with 3 measurement ranges: 100 µm, 250µm and 400µm.

OBJECTIVE Z-RESOLUTION XY RESOLUTION FIELD OF VIEW WORKING DISTANCE
2.5X 1 nm

0.039 µinch

9.24 µm

0.36 mils

7.12 mm x 5.34 mm

0.28 inch x 0.21 inch

10.3 mm

0.41 inch

5X 1 nm

0.039 µinch

4.62 µm

0.18 mils

3.56 mm x 2.67 mm

0.14 inch x 0.11 inch

9.3 mm

0.37 inch

10X 1 nm

0.039 µinch

2.31 µm

0.09 mils

1.78 mm x 1.34 mm

0.07 inch x 0.05 inch

7.4 mm

0.29 inch

20X 0.1 nm

0.0039 µinch

1.16 µm

0.05 mils

0.89 mm x 0.66 mm

0.04 inch x 0.03 inch

4.7 mm

0.18 inch

50X 0.1 nm

0.0039 µinch

0.46 µm

18.1 µinch

0.36 mm x 0.27 mm

14.1 mils x 10.6 mils

3.4 mm

0.13 inch

100X 0.1 nm

0.0039 µinch

0.23 µm

9.06 µinch

0.18 mm x 0.13 mm

7.09 mils x 5.27 mils

2.0 mm

0.08 inch

3D Confocal Microscope

Licht wird durch eine rotierende Lochscheibe und das Objektiv auf die Probenoberfläche projiziert . Die Öffnungen auf der Scheibe (Pinholes) lassen nur Licht von Punkten durch, die fokussiert sind. Nur diese Punkte werden von der CCD Kamera aufgenommen. Die Linse wird durch einen Piezoantrieb in z-Richtung bewegt. Jedes konfokale Bild ist Schnitt durch die Topographie der Probenoberfläche.

available Models
OBJECTIVE Z-RESOLUTION XY RESOLUTION FIELD OF VIEW WORKING DISTANCE
20X 3 nm

0.12 µinch

1.16µm

45.7 µinch

0.89 mm x 0.66 mm

0.04 inch x 0.03 inch

1.0 mm

0.04 inch

50X 2 nm

0.08 µinch

0.46 µm

18.1 µinch

0.36 mm x 0.27 mm

14.2 mils x 10.6 mils

1.0 mm

0.04 inch

100X 1 nm

0.039 µinch

0.23 µm

9.06 µinch

0.18 mm x 0.13 mm

7.09 mils x 5.12 mils

1.0 mm

0.04 inch

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