Sensoren

Überblick

 

 

Typ	Stufenhöhe	Dicke	Volumen	Ebenheit	Rauheit	Bumps
DRS Serie (Triangulation)	++++	++	+++ 1)	++++	++	+ 2)
LT Serie (Konfokal Laser)	++++	+++ 3)	++++	+++	+++	++++
CHR Serie (Konfokal Weißlicht)	++++	+++ 3)	++++	+++	++++	++++
CHR Serie (Interferometer)	++++ 4)	++++	+	+++ 4)	+ 4)	+ 4)

1) Wenig konturierte Eigenschaften
2) Nur für wenig konturierte Bumps
3) Materialabhängig
4) Nur mit interner Referenz

Sensoren