CT 300

Messen von Oberflächen bis 315 mm x 315 mm.
Flexibel durch eine große Auswahl an Sensoren.

ÜbersichtAnwendungsbeispiele

Key Features

Schnelle und präzise Messergebnisse

Schnelle Messung von großen Flächen durch chromatischen Weißlichtsensor. Ebenfalls mit konfokalem Mikroskop und 3D Weißlichtinterferometer erhältlich.

SOFTWARE FÜR HOHE ANSPRÜCHE

Die Systemsoftware SCAN SUITE verbindet SCAN CT für individuelle Messungen und Datenanalyse mit der Automationssoftware ASCAN. Systemkontrolle, Datenerfassung und Analyse sind in einer gemeinsamen benutzerfreundlichen Oberfläche integriert.

Scannen großer Flächen

Das Oberflächenmesssystem verfügt über hochgenaue Linearantriebe mit einem Verfahrweg von 315 mm in x-, y-RIchtung.

BENUTZERFREUNDLICH

Die exakt aufeinander abgestimmte Soft- und Hardware ermöglicht es schnell und einfach zu präzisen und wiederholbaren Messergebnissen zu gelangen.

Übersicht

Das CT 300 ist ein berührungsloser 3D Profilometer mit einer 315 mm x-, y-Verfahreinheit. Es können beispielsweise bis zu 12” Wafer oder andere große Substrate oder Teile vermessen werden. Das CT 300 ist ideal für die Messung der Ebenheit mit hoher Genauigkeit über den gesamten Verfahrweg von 315 mm.

Mit einem nach dem chromatischen Prinzip arbeitenden Weißlichtsenor und einer Abtastrate von bis zu 20 kHz können selbst große Teile schnell und effektiv vermessen werden. Unsere Multi-Sensor-Technologie erlaubt es, mehrere Sensoren oder Messköpfe gleichzeitig zu montieren und einfach zwischen verschiedenen Auflösungen und Messbereichen zu wechseln.

Technologie

  • Schnelle und hochgenaue Linearantriebe
  • Messgeschwindigkeit 2kHz / 4 kHz / 20kHz
  • 315 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, laterale Auflösung 0,05 µm, optionale motorisierte z-Achse
  • 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topografieanalysen
  • Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 315 mm
  • Konfokale Weißlichtsensoren
  • 3D Weißlichtinterferometer
  • konfokales Mikroskop
  • Interferometer zur Dickemessung
  • High-speed-Messung mit konfokalen Liniensensor
  • Hochauflösende Kamera (Off-axis)

Anwendungsbeispiele

Vermessung von LED Bauteilen

Ebenheitsmessung auf einem Siliziumwafer

Rauheitsmessung auf einem optischen Bauteil

Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne das richtige Messsystem für Ihre Anwendungen zu finden.