CT 300
Messen von Oberflächen bis 315 mm x 315 mm.
Flexibel durch eine große Auswahl an Sensoren.
Schnelle und präzise Messergebnisse
SOFTWARE FÜR HOHE ANSPRÜCHE
Scannen großer Flächen
BENUTZERFREUNDLICH
Übersicht
Das CT 300 ist ein berührungsloser 3D Profilometer mit einer 315 mm x-, y-Verfahreinheit. Es können beispielsweise bis zu 12” Wafer oder andere große Substrate oder Teile vermessen werden. Das CT 300 ist ideal für die Messung der Ebenheit mit hoher Genauigkeit über den gesamten Verfahrweg von 315 mm.
Mit einem nach dem chromatischen Prinzip arbeitenden Weißlichtsenor und einer Abtastrate von bis zu 20 kHz können selbst große Teile schnell und effektiv vermessen werden. Unsere Multi-Sensor-Technologie erlaubt es, mehrere Sensoren oder Messköpfe gleichzeitig zu montieren und einfach zwischen verschiedenen Auflösungen und Messbereichen zu wechseln.
- Schnelle und hochgenaue Linearantriebe
- Messgeschwindigkeit 2kHz / 4 kHz / 20kHz
- 315 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, laterale Auflösung 0,05 µm, optionale motorisierte z-Achse
- 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topografieanalysen
- Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 315 mm
- Konfokale Weißlichtsensoren
- 3D Weißlichtinterferometer
- konfokales Mikroskop
- Interferometer zur Dickemessung
- High-speed-Messung mit konfokalen Liniensensor
- Hochauflösende Kamera (Off-axis)
Anwendungsbeispiele
Vermessung von LED Bauteilen
Ebenheitsmessung auf einem Siliziumwafer
Rauheitsmessung auf einem optischen Bauteil
Fragen?
Wir helfen Ihnen gerne das richtige Messsystem für Ihre Anwendungen zu finden.