CT 350S

Präzises Oberflächenmesssystem mit
extrem hoher Auflösung in x, y, und z-Richtung

ÜbersichtAnwendungsbeispiele

Key Features

)

Großer Messbereich in z-Richtung

Das CT 350S ist ein berührungslos arbeitendes Profilometer mit geregelter z-Achse. Dies ermöglicht eine extrem hohe Auflöung in z-Richtung über den gesamten Verfahrweg der z-Achse über 200 mm.

Software für hohe Ansprüche

Die Systemsoftware SCAN SUITE verbindet SCAN CT für individuelle Messungen und Datenanalyse mit der Automationssoftware ASCAN. Systemkontrolle, Datenerfassung und Analyse sind in einer gemeinsamen benutzerfreundlichen Oberfläche integriert.

Scanning of large areas

The measurement system has a highly precise x-, y-motion system and can handle up large areas up to 350 mm x 350 mm.

Benutzerfreundlichkeit

Die exakt aufeinander abgestimmte Soft- und Hardware ermöglicht es schnell und einfach zu präzisen und wiederholbaren Messergebnissen zu gelangen.

Übersicht

Das CT 350S ist ein berührungsloses Oberflächenmessgerät mit einer 350 mm x-, y-Verfahreinheit und einer geregelten 200 mm z-Achse. Alle drei Achsen verwenden Magnetlinear-Antriebe und Luftlager-Führungen. Das System ist auf einer massiven Granitkonstruktion mit schwingungsdämpfenden Elementen aufgebaut. Mit einem Fehler kleiner als 100 nm zeichnet sich der x-, y-Tisch durch seine sehr hohe Genauigkeit aus. Während des Scanvorgangs kann die z-Achse der Form des Messobjekts folgen. Der Höhenmesswert ergibt sich dann aus der kalibrierten Encoderposition der z-Achse und dem Messwert des Sensors. Damit erreicht das System eine sehr hohe Auflösung in einem sehr großen Messbereich.

Das CT 350S wurde für die Vermessung von präzisen, optischen Bauteilen konzipiert. Konturmessungen, Stufenhöhe, Rauheitsmessungen und andere gängige 2D und 3D Messungen sind weitere Anwendungen. Die Sensoren sind mit einer Auflösung von bis zu 3 nm erhältlich.

Technologie

  • Hochgenaue und dynamische Linearantriebe mit Luftlagern
  • 4 kHz / 20 kHz Messgeschwindigkeit
  • 350 mm Verfahrweg in x- und y-Richtung, motorisierte 200 mm z-Achse, Glasmaßstäbe mit 1 nm Auflösung
  • 2D Profil Messungen sowie 3D Kontur- und Topografieanalysen
  • Große Messfläche mit hoher x-, y-, z-Auflösung bis zum maximalen Verfahrweg von 350 mm
  • Chromatisch konfokale Weißlichtsensoren mit bis zu 3 nm Auflösung
  • Hochauflösende Farbkamera

Anwendungsbeispiele

Oberflächenmessung einer asphärischen Optik

Ebenheitsmessung auf einem Festplatten-Bauteil

Topografie einer Verdichter Komponente

Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne das richtige Messsystem für Ihre Anwendungen zu finden.